工作职责:1、负责MOCVD设备的日常运行维护和监控;2、制定和执行预防性维护计划;3、监控关键零部件状态,及时更换维护;4、设备工艺参数的监控和调整,进行设备故障的诊断和排除;5、建立故障处理流程和应急预案,分析故障原因,提出改进建议;6、负责MO源、特气管路系统的维护,气体纯化系统的监控和维护;7、气体流量控制系统的校准和维护;8、尾气处理系统的运行维护;9、评估和实施设备改进方案;10、配合工艺需求进行设备改造;11、优化设备运行参数,执行设备安全操作规程,设备安全隐患排查和整改12、特种气体使用安全管理;任职资格:1、本科及以上学历,材料科学、机械工程或相关专业背景 ;2、3-5年MOCVD设备维护相关工作经验,具有HBT、pHEMT外延设备维护经3、熟悉MOCVD设备的机械和电气系统 ,了解特种气体系统的原理和维护要求 4、熟悉真空系统的维护和诊断, 了解温度控制和测量系统 ;5、具备基本的工艺知识,理解工艺参数对设备的要求 ;6、熟悉设备自动化控制系统。