工作职责:1.研究衍射叠层成像（CDI）算法；2.研究透射式CDI成像装置，实现波长级成像分辨率；3.基于极紫外激光，研究30nm级晶圆明场缺陷检测。任职资格:物理学、光学等相关专业，博士学历，有扎实的光学理论基础，掌握基本的相干成像原理。
