工作职责:
1. 熟悉光刻工艺流程，熟悉光刻相关overlay control原理。
2. 熟悉APC/R2R 原理。
3. 熟悉IBO/DBO Mark设计及评估，了解光源信息，了解OPC相关知识。
4. 熟练setup A750 OVL recipe 并进行ARO 对recipe进行verification。
5. 熟练使用EDA 软件进行DB output, 了解DRC。
6. 熟练运用MSA 手段对量测结果进行验证
7. 熟练setup CDSEM recipe(AMAT/HITACHI)。
8. PFA/TEM 实验申请及报告解读.。
9. 在线量测异常(如:生产线突发异常, SPC报表异常…等)诊断。
10. 熟悉统计学基本原理。
任职资格:
1. 半导体研发相关经验2年以上。
2.硕士及以上，工学，化学，物理，材料，半导体器件，微电子等专业背景。
3. 量测机台Recipe setup经验，有OVL/CD recipe setup经验这优先。
4. 熟悉MSA方法，了解DRAM工艺优先。