工作内容 1、半导体装备整机动力学仿真建模；
2、精密运动系统建模；
3、整机和精密运动系统模型的实验验证，并给出设计改进方案；
4、通过动力学模型计算各个扰动源对运动精度的影响；
5、设计各个分系统和整机框架之间的动力学耦合指标。
任职资格
1、掌握三维建模软件；
2、掌握控制理论及机械振动理论，掌握多体系统建模方法及相关软件；
3、熟练掌握有限元分析理论，掌握有限元分析软件；
4、掌握一种振动测试设备，进行时域和频率振动测量和分析；
5、掌握数字信号处理相关的理论、振动信号处理及模态测试；
6、熟练掌握建模和编程工具；
7、掌握基本的反馈控制理论和运动控制算法的设计方法。