工作职责:
1、负责DIFF工艺的研发和调试,如SIC氧化,SIC掺杂高温退火激活等
2、负责制定SIC炉管工艺的日常维护、监控等措施
3、负责扩散部SIC炉管SIC氧化/退火等工序的表征(物理、化学、电学性能等)
4、负责扩散部SIC工艺的SOP编写、文件管理和操作培训
5、负责实验设计、数据采集、数据分析,并按时汇报工作进展
6、负责扩散工艺和在线产品的异常处理,并采取持续改善,制定预防措施
任职资格:
1、熟悉扩散制程工艺维护,特别是有SIC制程氧化/退火经验
2、对氧化膜测试设备(如椭偏仪、AFM、SEM、NANOSPAC 等等)相关经验
3、有扎实半导体、材料学、半导体制造扩散/氧化方面的知识
3、学习能力强,能独立分析和处理问题,有良好的团队协作和沟通能力