工作内容:1、主导半导体设备整机/关键复杂部件的真空系统设计,指标定义与分解,以及制定软硬件的控制方案;2、根据分解的指标,主导与真空系统相关的泵规阀等关键部件的选型; 3、主导真空系统集成方案的落地,以及真空指标测试用例的制定和评审;4、制定真空设计规范和标准。职位要求:1、本科及以上学历,过程装备与控制、凝聚态物理、真空、机械等理工科专业优先;2、1年以上真空系统设计相关开发工作经验优先;3、熟悉真空系统设计规范和相关的国际标准,设计流程等; 4、熟悉常用的真空获得、真空测量等部件(泵规阀)选型应用; 5、掌握真空非标设备的组装、集成、测试、评价分析的方法等。 6、具备超高极高真空设备使用或开发经验