1. 负责半导体工艺设备各部件（包括但不限于机械部件、电气控制单元、传感器、真空系统等）的组装与系统集成工作，确保设备按照设计要求正常运行。
2. 制定详细的系统调试计划，对集成后的设备进行全面的调试与测试，包括性能测试、可靠性测试、稳定性测试等，及时发现并解决系统集成过程中出现的问题。
3. 对设备系统进行优化与改进，提高设备的生产效率、工艺精度以及稳定性，降低设备的故障率与维护成本。
4、与机械设计、电气设计、软件设计等相关团队紧密合作，协调各子系统之间的接口与兼容性，保证设备系统的整体性能