PVD设备运维管理负责PVD(物理气相沉积)设备的日常运行、维护及保养,确保设备稳定性和工艺稳定性。制定设备点检、预防性维护(PM)计划,监督执行并优化维护流程,降低设备故障率。主导设备突发故障的紧急抢修,快速恢复生产,分析根本原因并推动长期改进。工艺支持与优化监控PVD工艺参数(如溅射速率、真空度、膜厚均匀性),配合工艺工程师优化镀膜质量。参与新工艺开发及设备调试,确保设备性能满足新产品试产需求。团队管理管理PVD设备团队(工程师、技术员),分配工作任务并进行绩效考核。组织设备操作与维护培训,提升团队技术能力及安全意识。成本与资源控制控制设备备件库存,评估备件采购需求,降低维护成本。分析设备能耗及耗材使用效率,提出节能降耗方案。跨部门协作对接生产部门,保障设备产能与生产计划匹配。协同质量部门分析镀膜缺陷原因,推动设备或工艺改进。配合供应商完成设备升级、改造及技术对接。文档与合规管理编制设备操作规范、维护手册及故障处理指南。确保设备管理符合EHS(环境、健康、安全)及行业标准(如ISO 9001、SEMI标准)。"