核心: 扎实的半导体物理、固体物理、等离子体物理、表面科学、化学(尤其气体化学和反应动力学)基础。工艺理解: 深刻理解各类刻蚀原理(干法:RIE, ICP, CCP, 反应离子刻蚀物理/化学平衡;湿法:各向同性/异性刻蚀机理)及其影响因素(气压、功率、气体比例、流量、温度、偏压等)。设备知识: 熟悉主流刻蚀设备(如应用材料、泛林半导体、东京电子等的机台)的基本构造、工作原理和控制系统。表征能力: 熟练使用或理解相关表征设备(SEM, CD-SEM, TEM, AFM, 椭偏仪, XPS, SIMS等)进行刻蚀结果(CD, 形貌、选择比、损伤等)的分析。数据分析: 精通数据分析方法,能熟练运用统计工具(如JMP, Minitab)进行DOE设计和SPC分析。掌握基础编程(如Python)处理数据是加分项。问题解决: 强大的逻辑思维和系统性分析能力,能够运用8D、鱼骨图、5Why等方法解决复杂工艺问题。制造系统: 熟悉半导体制造环境、洁净室规范、Fab生产管理系统。