1. 负责干法及湿法刻蚀工艺维护及实施;2. 根据产品需求,实施新工艺开发,确保新工艺可生产性;3. 流片试验结果分析,优化工艺、提升产品良率;4. 制订工艺监控计划及标准,完成日常监控;5. 上级主管安排的其它相关工作。【关键词】干法 湿法 刻蚀