岗位职责
1、 负责微纳半导体器件制备薄膜沉积工艺的开发，包括物理气相沉积（PVD），如磁控溅射、真空蒸镀、离子束沉积，化学气相沉积（CVD）PECVD,、LPCVD、 ALD。
2、 负责微纳半导体器件制备热处理工艺的开发，包括快速退火工艺(RTP)、管式炉热处理工艺。
3、 负责实验设计，实验执行，并对工艺、结构进行详细的微观结构、电学、光学以及其他方面的表征，包括膜厚， 应力，导电率，折射率，透光率等。负责采集数据、数据分析，对工艺进行持续的优化、监控以及维护；
4、 制定工艺方法、操作流程和规范，建立相关的作业指导书与技术文件，指导和培养技术人员，撰写培训资料，对现场操作人员进行相关的基础培训、操作培训和考核；
5、 主导工艺在线异常根本原因分析，提出改进计划，解决方案，并主导解决方案的执行，导入，跟进；
6、 负责新设备，新工艺，新物料的调研，评估，论证，导入，验证等；
7、 对应不同的研发项目，负责制定项目对应的工艺研发计划，和长期的研发规划，及时与项目组对齐，保证项目研发进度。
8、 负责微纳器件制备技术行业需求调研、分析，文献综述等。总结、归纳当前状态，存在问题，提出创新性，可行性解决方案，并主导、跟进方案的实施；
9、 撰写学术论文，技术报告，将研究成果发表在相关领域的期刊上，将创新性成果申请专利。
任职资格
1、硕士及以上学历，博士优先，材料，机械工程，物理，化学，微电子，微纳加工、半导体等相关专业。
2、了解半导体微纳器件工艺开发及原理，熟悉半导体开发，制造，生产基础知识，5年以上微纳器件制备工艺开发经验，或5年以上Fab厂薄膜沉积，热处理，参杂工艺开发经验，有8寸或12寸工作经验优先。
3、熟悉业界主流薄膜沉积，热处理设备及其性能，具有丰富的薄膜工艺，热处理工艺研发工作经验，熟悉AMAT，SPTS，EVATEC，ULVAC，北方华创等供应商的PVD，CVD，ALD, 以及热处理设备结构、操作等。
4、 具有良好的逻辑分析能力、书面表达能力、人际沟通能力，PPT汇报，以及良好的英文阅读及书写能力；
5、 优秀的团队精神、交流能力，具备良好的沟通协调能力，积极主动，能与团队协同高效完成任务；