工作内容:1、主导半导体设备整机/关键复杂部件的污染控制(如颗粒污染、化学污染、材料释气等)的指标分解、方案设计及测试验证,设计相关的测试装备及测试验证方法,对整机系统的污染指标整体负责;2、制定主动/被动抑制真空系统内颗粒物传输、化学物吸附与释放的设计方案,确保设备整机/关键部件始终满足超洁净管控要求。职位要求:1、本科及以上学历,物理、化学、量子力学、材料等理工科专业优先;2、1年以上污染控制设计相关开发工作经验优先;3、熟悉颗粒检测、化学物检测、材料释气相关的国际标准,设计流程和规范等; 4、熟悉真空、释气、颗粒、化学物等知识,熟悉产品环境及测试规范; 5、掌握颗粒检测、化学物检测设备的组装、集成、测试、评价分析的方法等。