1. 负责离子注入工艺的研发和导入,与设计工程师共同确定压敏区和重掺区的剂量,结深等关键工艺参数 2.负责制定离子注入工艺的日常维护、监控等措施 3.负责离子注入工序的表征(物理、化学、电学性能等) 4.负责离子注入工艺的SOP编写、文件管理和操作培训 5.负责实验设计、数据采集、数据分析,及时汇报工作进展 6.负责注入工艺和在线产品的异常处理,并采取持续改善,制定预防措施岗位要求:熟悉离子注入、RTP快速热退火和推阱等工艺,有MEMS压力产品注入经验更佳,具有SEM、四探针等相关经验。有扎实半导体、材料学、物理化学等方面的知识,学习能力强,能独立分析和处理问题,有良好的团队协作和沟通能力。有苏州纳米所相关机台操作经验为佳。