1、电子束光刻工艺的开发和调试，对接设备的维护、升级；
2、PSM相移掩模相关工艺的开发、调试和验证，材料选型和评估；
3、KLA高端检测设备的调试、验证，光罩缺陷检查的工艺开发；
4、分析数据并总结和汇报研发进展，撰写相关论文和申请专利；
5、协同各部门完成光罩进入先进Fab的认证工作。

职位要求：
1、硕士研究生以上学历，理工科背景，物理/化学/微电子/材料等理工类相关专业，背景优秀者可放宽至本科学历；
2、5年以上高端光罩相关领域工作经验，熟悉光罩工艺流程，了解MPC和CD/OVL的控制与改进，了解电子束、KrF-PSM相关设备及工艺；
3、较强的沟通表达能力、组织协调能力和团队合作精神，流畅的英文/日文阅读和写作能力。
工作地点：珠海