1、电子束光刻工艺的开发和调试,对接设备的维护、升级;2、PSM相移掩模相关工艺的开发、调试和验证,材料选型和评估;3、KLA高端检测设备的调试、验证,光罩缺陷检查的工艺开发;4、分析数据并总结和汇报研发进展,撰写相关论文和申请专利;5、协同各部门完成光罩进入先进Fab的认证工作。职位要求:1、硕士研究生以上学历,理工科背景,物理/化学/微电子/材料等理工类相关专业,背景优秀者可放宽至本科学历;2、5年以上高端光罩相关领域工作经验,熟悉光罩工艺流程,了解MPC和CD/OVL的控制与改进,了解电子束、KrF-PSM相关设备及工艺;3、较强的沟通表达能力、组织协调能力和团队合作精神,流畅的英文/日文阅读和写作能力。工作地点:珠海